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| 品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 冷卻方式 | 風冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5萬-10萬 | 產地類別 | 國產 |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統壓力顯示 | 制冷系統壓力采用指針式壓力表實現（高壓、低壓） 循環系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協議 | 以太網接口TCP/IP協議 | |||||
| 設備內部溫度反饋 | 設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數據導出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風機采用德國EBM軸流風機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質 | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機冷卻循環水裝置常見故障知識說明
光刻機冷卻循環水裝置常見故障知識說明
1、制冷壓縮機內無敲擊聲，壓縮機正常運轉，膨脹閥開度調節合適，運轉中只有壓縮機吸、排氣聲，不產生敲擊或其它不正常聲響。
2、壓縮機各摩擦部位溫度正常，無激熱現象。壓縮機各摩擦部位、軸承與軸頸接觸良好，潤滑正常，不產生超過環境溫度。
3、曲軸箱油面處在正常位置，一般壓縮機曲軸箱正常油面應在視油鏡中間位置。如果是兩個油鏡，則正常油面應在上油鏡的水平線上，但低不得低于下油鏡水平線或見不到油位。另外，在壓縮機運轉過程中滑油不應起泡。
4、油壓過低會造成各摩部件表面的干摩或卸載一能量調節機構動作遲緩；油壓過高不但易損壞油泵軸、鍵及傳動件，而且會使各摩擦面之間進油過多，增加摩擦阻力。。
5、壓縮機無結霜現象，制冷系統工作過程中，壓縮機回氣管路結霜應屬正常現象，但當操作不良或膨脹閥調整不當時，往往會造成壓縮機氣缸壁和機體結霜，嚴重時可能造成壓縮機“液擊”。
6、光刻機冷卻循環水裝置制冷系統各輔助設備處于正常工作狀態，膨脹閥開度適當；各風機及電機運轉平穩；水循環系統的水泵運轉正常，無異常聲響；水循環管路及各連接處無嚴重漏水現象；更重要的是制冷系統所有設備連接管路不允許有制冷劑泄漏現象。
7、光刻機冷卻循環水裝置制冷系統所有壓力及溫度指示正確，壓力表、溫度表指針穩定；高、低油壓控制器調整適當，在所要求之壓力數值范圍內能起到自動控制和保護作用。
8、制冷系統正常工作時，其冷凝壓力與冷凝溫度，蒸發壓力與蒸發溫度呈對應關系。
